Установка совмещения и экспонирования MD-G25D

Установка совмещения в основном используется при разработке и производстве интегральных схем малого и среднего масштаба, полупроводниковых компонентов, оптоэлектронных устройств, устройств на поверхностных акустических волнах, тонкопленочных схем и силовых электронных устройств.

Система состоит из: высокоточного верстака для выравнивания, вертикального микроскопа с бинокулярным разделением поля зрения, цифровой камеры, компьютерной системы запоминания изображений, головки экспонирования с многоточечным источником света (fly eye), системы управления на базе ПЛК, пневматической системы, вакуумной системы, вакуумного насоса прямого подключения, дополнительный антивибрационный верстак и коробка для принадлежностей.

Особенности:

• Высокая равномерность распределения освещения.
• Механизм выравнивания воздушной флотации.
• Надежный вакуумный прижим при экспонировании.
• Высокое разрешение
• Длительность экспонирования регулируется от 1 секунды до 1 часа. Точность совмещения <1мкм.