Установка совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
Установка ABM/6/350/NUV/DCCD применяется для совмещения пластины/подложки и фотошаблона по лицевой стороне с последующим экспонированием фоторезиста.
Загрузка пластин/подложек на держатель, полный цикл совмещения по реперным меткам и экспонирования фоторезиста в течение заданного времени, а также выгрузка пластин/подложек на кассету осуществляются в полуавтоматическом режиме.
ABM Inc. мировой лидер в производстве установок совмещения и экспонирования, оборудования для производства полупроводников, оптоэлектроники, плоских дисплеев, ВЧ микроволновой техники, дифракционной оптики, МЭМС, устройств со столбиковыми и шариковыми выводами и в других отраслях, требующих литографии с элементами уменьшенных размеров и прецизионного совмещения. Установки совмещения и экспонирования ABM используются в университетах, научно-исследовательских центрах, на прототипных и массовых производствах по всему миру. ABM Inc., была основана в 1986 году в Силиконовой долине США и занимается разработкой, производством и внедрением оборудования для полупроводниковой промышленности уже почти 40 лет.
Особенности:
- Оптика высокого разрешения
- Рабочий столик для точного совмещения
- Компенсация ошибки клина
- Управление с помощью ПЛК
- Возможность точного задания зазора
- Надежность и стабильность
| Держатель подложек: | диаметр до 150мм, выравнивающая вакуумная планшайба |
| Движение: | X-±12,5 мм, Y-±12,5 мм, θ-±5° |
| Точность позиционирования: | X-±0,5 мкм, Y-±0,5 мкм, θ-±0,0001° |
| Увеличение микроскопа: | 100x—900x |
| Источник УФ освещения: | (NUV - ближний диапазон), 2х канальный, постоянной интенсивности, с цифровым контроллером мощности и изменяемой длиной волны |
| УФ лампа: | 350 Вт |
| Неоднородность пучка: | <±1% при 50х50мм; <±2% при 100х100мм; <±3% при 150х150мм |
| Интенсивность светового потока: | 365нм - 20-22мВт/см2; 405нм - 35-40мВт/см2; 436нм - 10-12мВт/см2 |
| Антивибрационное основание: | 1160 х 920 мм |
| Габариты (ШхГхВ): | 1060х1010х1760мм; |
| Вес: | 350кг; |
| Сжатый воздух: | 50л/мин, 6Атм, сухой, безмасляный; |
| Вакуум: | -85…-55кПа, безмасляный; |
| Азот (или инертный газ): | 5-10атм; |
| Вытяжка: | 100мм, с регулятором потока. |
| Чистая комната: | Класс100… Класс1000 |