<
>
Установка плазменной очистки с вакуумным насосом - PCE-6
Производитель:
KJ Group (MTI Corporation)
Страна:
Китай
Артикул:
PCE-6
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
PCE-6 - установка плазменной очистки с кварцевой камерой Ø160×190мм и радиочастотная мощностью 3.0МГц(1%), при этом выходная мощность регулируется на трех уровнях: 7.2Вт, 10.2Вт и 29.6 Вт. Используется для очистки и удаления нано-размерных органических загрязнений на подложках и полупроводниковых пластинах с использованием воздуха, кислорода или аргоновой плазмы. Идеально подходит для предварительно очистки монокристаллов перед эпитаксиальным напылением пленок для достижения наилучшего качества.
| Электропотребление: | 220В, перем. ток, 50/60Гц, 10А |
| Мощность на выходе: | 7.2 Вт, 10.2 Вт, 29.6 Вт |
| Мощность вакуумного насоса: | <500 Вт |
| Общая мощность: | <600 Вт |
| RF частота: | 3.0 МГц, мощность можно регулировать вручную на 3 уровнях |
| Плазменная камера: | Кварцевая камера высокой чистоты размером Ø160мм×190мм, герметичная алюминиевая дверца камеры имеет фланцевое соединение со смотровым окном Ø45мм |
| Вакуумный насос: | 120 л/мин, двухступенчатый ротационный вакуумный насос с прямым подключением |
| Предельный вакуум: | 50 мторр. |
| Подача газа: | Для генерации плазмы можно осуществлять подачу различных газов, таких как N2, Ar, H2, O2, воздух и газовые смеси, в зависимости от свойств материала очистки/ травления. |
| Размеры: | 400мм×300мм×300мм |
| Вес: | 10.2 кг |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |
| Опционально: | Кварцевая лодочка/носитель размером 2–6” (для удержания подложки); 2-4-канальная система смешивания газов. |