<
>
Установка плазменной очистки с кварцевой камерой и вакуумным насосом - PCE-8
Производитель:
KJ Group (MTI Corporation)
Страна:
Китай
Артикул:
PCE-8
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
PCE-8 - установка плазменной очистки с кварцевой камерой и регулируемой высокочастотной мощностью. Используется для очистки и удаления нано-размерных органических загрязнений на подложках и полупроводниковых пластинах с использованием воздуха, кислорода или аргоновой плазмы. Максимальная скорость удаления около 20 нм/мин. Идеально подходит для предварительной очистки монокристаллов перед эпитаксиальным напылением пленок для достижения наилучшего качества.
Особенности:
- Экран от излучения с нулевой утечкой;
- Панель управления 153 мм сенсорный экран для автоматического регулирования параметров: уровень вакуума, расход газа, уровень мощности;
- Встроенный канал массового расходометра (0-500 мл/мин) для точной регулировки расхода газа;
- Возможно использовать N2, Ar, воздух и смешанные газы, в зависимости от типа материала для обработки;
- Запрещено использование воспламеняющихся газов.
| Электропотребление: | 220В, перем. ток, 50Гц, ≤3А |
| RF мощность: | 80Вт макс. (стандарт для очистки); |
| Вакуумный насос: | 550Вт (норма), 750 Вт (при старте); |
| Общая мощность: | 830Вт. макс. |
| Высокочастотная мощность: | 0-80 Вт (регулируется) |
| Частота: | 13.56 мГц |
| Камера высокой чистоты (внеш. диам. х внутр. диам. х Д): | 216х209х318, мм |
| Объём: | 12 л |
| Смотровое окно: | 60 мм |
| Управление: | 6” цветной сенсорный экран для автоматического управления всеми параметрами плазменной очистки, такими как уровень вакуума, скорость потока газа, уровень RF мощности и время очистки; |
| Система контроля газа: | Установка оснащена встроенным одноканальным массовым расходомером (0-500 мл/мин) для контроля подачи газа в пределах ±0.5мл/м. |
| Предельный вакуум: | 50 мТорр |
| Вакуумный насос: | Механический вакуумный насос включен в комплект поставки |
| Габариты (ДхШхВ): | 620х450х600, мм |
| Вес: | 37 кг |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |