Система ультрафиолетовой очистки с возможностью нагрева предметного столика - PCE-22

Система ультрафиолетовой очистки с возможностью нагрева предметного столика - PCE-22

Производитель: KJ Group (MTI Corporation)
Страна: Китай
Артикул: PCE-22
  • Стоимость
  • По запросу

  • Под заказ

PCE-22 – настольная система очистки методом совместного воздействия ультрафиолетового излучения и озона, используется для очистки всех типов монокристаллических подожек. Идеально подходит для удаления фоторезиста, улучшая смачиваемость поверхности, для очистки SEM и TEM образцов, активации полимеров и т.д.

Высокоэффективна для некислотной, сухой, неразрушающей атомной очистки и удаления органических загрязнений используя интенсивность УФ излучения 184,9 нм и 253,7 нм.

Особенности:

  • Цельнометалическая ртутная УФ лампа двухволновая;
  • Для легкой загрузки образцов установлен скользящий лоток;
  • В камеру интегрировано устройство вентиляции озона;
  • Регулируемое расстояние между площадкой для образцов и лампой;
  • Камера размерами: 200х200 мм, с возможностью размещения образцов высотой до 40 мм;
  • Площадка для образцов с функцией подогрева не ниже 150°С и цифровым контроллером.
Электропотребление: 220В, перем. ток, 50Гц
Мощность УФ лампы: 250 Вт макс.
Общая мощность: 350 Вт макс.
Длины волн УФ лампы: 253.7 нм и 184.9 нм
Цикл эксплуатации лампы: 5000 ч
Область УФ излучения: 200х200, мм
Конструкция: Корпус изготовленный из нержавеющей стали, имеется выдвижной ящик для легкой загрузки образцов
Размеры предметного столика для образца: 310x320, мм
Нагрев предметного столика: До 150°C, опционально - нагрев до 300°C с точностью +/- 0.1°C
Температурный контроллер: 30 программируемых сегментов, программируемых с точностью +/-2°С
Равномерность температуры: <10°С в пределах площади диаметром 6" и <20°С в диаметре 12"
Скорость нагрева: 15°С/мин макс.
Расстояние между столиком для образца и лампой: От 20 мм до 40 мм (регулируется)
Макс. толщина образца: 40 мм
Удаление озона: В камере встроено устройство для удаления озона
Таймер: В диапазоне от 0.01 секунды до 99.9 часов.
Вентиляционный порт: Вентиляционное отверстие диаметром 3" находится на задней панели установки. В комплект поставки входит одна гибкая труба и один вентиляционный зажим для подключения выхлопной трубы очистителя к вентиляционной системе лаборатории.
Размеры: 550мм x 540мм x 360мм
Вес: 28 кг
Гарантия: Один год ограниченной гарантии