Система ультрафиолетовой очистки с возможностью нагрева предметного столика - PCE-22
Производитель:
KJ Group (MTI Corporation)
Страна:
Китай
Артикул:
PCE-22
-
По запросу
- Под заказ
PCE-22 – настольная система очистки методом совместного воздействия ультрафиолетового излучения и озона, используется для очистки всех типов монокристаллических подожек. Идеально подходит для удаления фоторезиста, улучшая смачиваемость поверхности, для очистки SEM и TEM образцов, активации полимеров и т.д.
Высокоэффективна для некислотной, сухой, неразрушающей атомной очистки и удаления органических загрязнений используя интенсивность УФ излучения 184,9 нм и 253,7 нм.
Особенности:
- Цельнометалическая ртутная УФ лампа двухволновая;
- Для легкой загрузки образцов установлен скользящий лоток;
- В камеру интегрировано устройство вентиляции озона;
- Регулируемое расстояние между площадкой для образцов и лампой;
- Камера размерами: 200х200 мм, с возможностью размещения образцов высотой до 40 мм;
- Площадка для образцов с функцией подогрева не ниже 150°С и цифровым контроллером.
Электропотребление: | 220В, перем. ток, 50Гц |
Мощность УФ лампы: | 250 Вт макс. |
Общая мощность: | 350 Вт макс. |
Длины волн УФ лампы: | 253.7 нм и 184.9 нм |
Цикл эксплуатации лампы: | 5000 ч |
Область УФ излучения: | 200х200, мм |
Конструкция: | Корпус изготовленный из нержавеющей стали, имеется выдвижной ящик для легкой загрузки образцов |
Размеры предметного столика для образца: | 310x320, мм |
Нагрев предметного столика: | До 150°C, опционально - нагрев до 300°C с точностью +/- 0.1°C |
Температурный контроллер: | 30 программируемых сегментов, программируемых с точностью +/-2°С |
Равномерность температуры: | <10°С в пределах площади диаметром 6" и <20°С в диаметре 12" |
Скорость нагрева: | 15°С/мин макс. |
Расстояние между столиком для образца и лампой: | От 20 мм до 40 мм (регулируется) |
Макс. толщина образца: | 40 мм |
Удаление озона: | В камере встроено устройство для удаления озона |
Таймер: | В диапазоне от 0.01 секунды до 99.9 часов. |
Вентиляционный порт: | Вентиляционное отверстие диаметром 3" находится на задней панели установки. В комплект поставки входит одна гибкая труба и один вентиляционный зажим для подключения выхлопной трубы очистителя к вентиляционной системе лаборатории. |
Размеры: | 550мм x 540мм x 360мм |
Вес: | 28 кг |
Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |