<
>
Полуавтоматическая зондовая станция SEMISHARE X8
Производитель:
SEMISHARE
Страна:
КНР
Артикул:
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
Полуавтоматическая зондовая станция серии SEMISHARE X предназначена для наведения электрода пробоотборника через зонд или плату зонда в условиях от -60 ℃ до 300 ℃, загрузки и измерения электрического сигнала путем подключения тестового прибора, а также управления, оценки и сохранения электрического сигнала на стороне программного обеспечения и подачи сигнала на оценочная информация возвращается в струйную систему для маркировки дефектного чипа (матрицы). Среди прочего, метод маркировки может быть установлен в соответствии с требованиями заказчика.После завершения испытания одной стружки (матрицы) механическая платформа патрона перемещается к следующей стружке (матрице) для тестирования с помощью системы программного управления, и циклическое тестирование выполняется по очереди.
| Патрон(фиксатор пластины): | |
| Диапазон линейного перемещения фиксатора X-Y-Z: | 350 мм - 365 мм - 20 мм; |
| Максимальная скорость перемещения ось X/Y: | 70 мм/с; |
| Максимальная скорость перемещения ось Z: | 20 мм/с; |
| Разрешение XY: | 0.1 мкм; |
| Точность ось XY: | ±1,0 мкм; |
| Шаг по X, Y и Z: | 0,1 мкм; |
| Диапазон наклона фиксатора: | ±10°; |
| Разрешение наклона(Θ): | 0,0001°; |
| Повторяемость наклона(Θ): | 0,0005°; |
| Точность наклона(Θ): | 0,001°. |
| Микропозицонеры (SS-100-m): | |
| Размеры(ШхДхВ): | 115 мм* 100 мм* 112 мм |
| Магнитное основание с переключателем: | |
| Линейное перемещение X-Y-Z: | 12 мм-12 мм-12 мм |
| Точность перемещения: | 0,7 мкм/° |
| Вариации: | Коаксиальный 1пА/В @ 25 °C; Трехкоаксиальный 100фА/В @ 25 °C; Трехкоаксиальный 10пА@3кВ @25 °C. |
| Микроскоп: | |
| Перемещение микроскопа X-Y-Z: | 50 мм x 50 мм x 125 мм; |
| Максимальная скорость: | 10 мм/с; |
| Шаг по X и Y: | 0,1 мкм; |
| Дополнительный объектив: | 2X (WD 34 мм, NA 0,055, оптическое увеличение 48X – 720X); |
| Дополнительный объектив: | 5X (WD 34,0 мм, NA 0,14, оптическое увеличение 120X – 1800X); |
| Интерфейс компьютера: | RS232/485, TCP/IP, GPIB и т.д. |
| Возможность отображать низкое (0,6 X) и высокое (2,5 X или 9X) увеличение одновременно;: | |
| Температурная камера: | |
| Диапазон температур: | от -60°C до +300°C; |
| Нестабильность поддержания температуры: | ±0,1°С |
| Разрешение задания/отображения температуры: | 0,01°С |
| Габариты температурной камеры (ØхВ): | Ø205 мм х 35,5 мм |
| Внешние габариты установки с микроскопом (ШхВхД): | 1060 мм x 1610 мм х 1550 мм |
| Вес нетто: | прим. 1500 кг |
| Особенности: | |
| Механизм быстрого доступа к вакуумному фиксатору для замены пластин: | |
| На установочном столе помещается до 12 микропозиционеров (без навесного оборудования).: | |
| Герметичная камера с высокоэффективной защитой от электромагнитных помех/света/шума и защитой от замерзания: | |
| Защита от электромагнитных помех > 30 дБ (обычно) при частоте от 1 кГц до 1 МГц: | |
| Оптическое затухание ≥ 130 дБ: | |
| Минимальный уровень спектрального шума ≤ - 180 дБВэфф(dBVrms) /Гц(rtHz) (≤ 1 МГц): | |
| Системный шум ≤ 5 мкВ п-п (≤ 1 ГГц): | |
| Оптимизация камеры для снижения потребления сухого сжатого воздуха: | |
| Высокоточная моторизованная ступень и система управления фиксатором «X-Y-Z-Theta(Θ)»: | |
| Приводной механизм фиксатора конструкция с «нулевым люфтом», шарико-винтовая передача, линейные направляющие: | |
| Малошумный двигатель постоянного тока: | |
| Линейные шкалы с разрешением 0,1 мкм для всех осей механизма фиксатора: |