<
>
Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин SEMISHARE A12
Производитель:
SEMISHARE
Страна:
КНР
Артикул:
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
Полностью автоматизированная зондовая станция SEMISHARE A12 позволяет завершить испытания пластин WAT/CP благодаря точному позиционированию датчика и точки PAD пластины. Электрический сигнал снимается путем подключения зонда, затем сигнал распознается, оценивается и сохраняется с помощью программного обеспечения, а информация о результатах оценки передается обратно в струйную систему маркировки дефектного чипа (интегральной схемы).
С помощью системы программного управления механическая платформа вакуумного патрона перемещается к следующему тестируемому чипу (интегральной схеме), а затем манипулятор автоматически устанавливает и перемещает пластины к загрузочному держателю и обратно и по очереди выполняет циклические испытания.
| Патрон(фиксатор пластины): | 8",12" |
| Диапазон линейного перемещения фиксатора ось X: | ±170 мм; |
| Диапазон линейного перемещения фиксатора ось Y: | -180 + 600 мм; |
| Максимальная скорость перемещения ось X/Y: | 200 мм/с; |
| Диапазон линейного перемещения фиксатора ось Z: | 0-80 мм; |
| Максимальная скорость перемещения ось Z: | 80 мм/с; |
| Разрешение XY: | 0.1 мкм; |
| Повторяемость ось XY: | ±1,0 мкм; |
| Точность ось XY: | ±2,0 мкм; |
| Шаг по X, Y и Z: | 0,1 мкм; |
| Диапазон наклона фиксатора: | ±10°; |
| Разрешение наклона(Θ): | 0,0001°; |
| Внешние габариты установки с микроскопом (ШхВхД): | 1600 мм x 1660 мм х 1450 мм; |
| Особенности: | |
| Высокая эффективность: | интегрированный модуль предварительной настройки собственной разработки, пластины можно автоматически перемещать вверх и вниз без повреждений, круглосуточное тестирование 24/7. |
| Высокая точность: | полностью замкнутая система управления движением микронного уровня, благодаря оптической системе позиционирования, использующей новейшие программные алгоритмы обработки изображений, достигается автоматическое и точное позиционирование патрона. |
| Высокая совместимость: | манипулятор может принимать различные пластины, такие как ультратонкие/острые/тайко и т.д., конструкция крепления собственной разработки, может интегрировать различные испытательные установки. |
| Высокая устойчивость: | малый размер и вес, низкая вибрация, низкий уровень шума, низкий центр тяжести, конструкция платформы с низким центром тяжести патрона для более стабильной работы. |