DC/ВЧ установка магнетронного напыления с одним магнетроном - VTC-600-1HD
Производитель:
KJ Group (MTI Corporation)
Страна:
Китай
Артикул:
VTC-600-1HD
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
VTC-600-1HD — установка для нанесения покрытий в высоком вакууме, которая используется для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических, проводящих, полупроводниковых, керамических, диэлектрических, оптических, оксидных, жестких и прочих пленочных покрытий, в то числе покрытий из ПТФЭ, сплавов и т.д.
Устройство для нанесения магнетронного напыления VTC-600-1HD оснащено одной рабочей головкой.
Комплект поставки:
- Система управления DC мощностью - 1 комплект (на выбор);
- Система управления ВЧ мощностью - 1 комплект (на выбор);
- Чиллер водяной - 1 шт.;
- Механический вакуумный насос – 1 шт.;
- Трубrа из полиэстера и полиуретана (Ø6 мм): 4 м.
Опционально:
- Различные оксидные и металлические мишени, в том числе из золота, индия, серебра, платины и т.д.;
- Система контроля толщины пленки;
- Молекулярный насос.
| Рабочее напряжение: | 220В / 50Гц |
| Макс. потребляемая мощность: | <1 кВт (без вакуумного насоса) |
| Внутренний диаметр камеры: | Ø300 мм |
| Предельный уровень вакуума: | 9.0×10-4Па |
| Температура нагрева предметного столика: | RT-500℃, точность ±1℃ (температура может быть увеличена по запросу) |
| Количество мишеней: | 1 шт. (кол-во может быть увеличено по запросу) |
| Способ охлаждения пистолета мишени: | Водяное охлаждение |
| Размеры материала мишени: | Ø2”, толщина 0.1-5 мм (толщина отличается в зависимости от материала мишени) |
| Мощность DC источника: | 500 Вт (тип источника DC или ВЧ выбирается опционально) |
| Мощность ВЧ источника: | 300 Вт (тип источника DC или ВЧ выбирается опционально) |
| Стол для образцов: | Ø140мм (опционально функция смещения напряжения для достижения более высокого качества покрытия) |
| Скорость: | 1-20 об/мин (регулируется) |
| Рабочий газ: | Ar и другие инертные газы |
| Подача воздуха: | Расходомер контролирует подачу двух каналов на 100см3/мин и 200см3/мин соответственно |
| Размер вакуумной камеры: | Ø300×300, мм |
| Размер основной машины: | 500×560×660, мм |
| Общие габариты: | 1300×660×1200, мм |
| Вес: | 160 кг |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |