<
>
Система PECVD плазмохимического осаждения из газовой фазы
Производитель:
LabFurnace
Страна:
Китай
Артикул:
PECVD1100-6Z
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
Плазмохимическое осаждение из газовой фазы позволяет использовать высокоэнергетическую плазму для ускорения, эффективного увеличения скорости и снижения температуры процесса реакции.
Оборудование отлично подходит для нанесения тонких пленок из нитрида кремния, аморфного и микрокристаллического кремния на различные подложки, такие как оптическое стекло, кремний, кварц и нержавеющая сталь. Установка обладает хорошими пленкообразующими свойствами и получила широкое применение в производстве тонкопленочных солнечных элементов. Систему также применяют в научных исследованиях, в том числе для изготовления небольших партий тонкопленочных материалов в университетах и научно-исследовательских институтах.
| RF ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ: | |
| Частота: | 13.56 МГц |
| Диапазон выходной мощности: | 0~500 Вт |
| Макс. отраженная мощность: | 100 Вт |
| Отраженная мощность (при макс. мощности): | <5 Вт |
| Стабильность мощности: | ±0.1% |
| КАМЕРА НАГРЕВА: | |
| Температура нагрева: | RТ-1000℃ |
| Точность контроля температуры: | ±1℃ |
| Держатель образцов: | Ø200 мм |
| Скорость вращения держателя образца: | 1-20 об/мин (регулируется) |
| Размер распылительной головки: | Ø90 мм |
| Расстояние между распылительной головкой и образцом: | 40-100 мм (плавно регулируется) |
| Рабочий вакуум для осаждения: | 0.133-133Па (регулироваться) |
| Фланец: | Верхний фланец можно поднять с помощью двигателя, подложку легко заменяется, имеется смотровое окно |
| Рабочая камера: | Камера изготовлена из нержавеющей стали размером Ø500 мм х 500 мм |
| Смотровое окно: | наблюдения |
| СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗА: | |
| Измерительный блок: | Регулятор массового расхода |
| Кол-во каналов: | 6 |
| Канал A: | 0～200 sccm для H2 |
| Канал B: | 0～200 sccm для CH4 |
| Канал C: | 0～200 sccm для C2H4 |
| Канал D: | 0～500 sccm для NH3 |
| Канал E: | 0～500 sccm для N2 |
| Канал F: | 0～500 sccm для Ar |
| Точность измерения: | ±1.5% полной шкалы |
| Разница рабочего давления: | -0.15 МПа ~ 0.15 МПа |
| Материал соединительной трубки: | Нержавеющая сталь 304 |
| Газовый канал: | Игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
| Соединительный порт: | Разъем с наконечником 1/4" для подачи и выхода газа |
| ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА: | |
| Форвакуумный насос: | 4.7 л/с |
| Молекулярный насос: | 1200л/с |
| Измерение вакуума: | Составной вакуумметр, диапазон 10^-5Па ~ 10^5Па |
| Степень вакуума: | 5.0х10^-3Па |
| ВОДЯНОЙ ЧИЛЛЕР: | |
| Температура охлаждающей воды: | ≦37℃ |
| Водный поток: | 10л/мин |
| Мощность: | 0.1 кВт |
| Мощность охлаждения: | 50 Вт/℃ |
| Электропотребление всей установки: | 220 В, перем. ток , 50 Гц |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |