<
>
Система PECVD для получения графена методом ролик-ролик
Производитель:
LabFurnace
Страна:
Китай
Артикул:
OTF-1200X-III-PE300-RR
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
PEVCD система методом ролик-ролик — трубчатая печь для получения графена. Оборудование состоит из катушки для перемотки медной фольги и укладывающего герметизирующего устройства, трех-зонной трубчатой печи с температурой нагрева до 1200°C и вакуумной системы. Данное оборудование применяется для высокопроизводительного выращивания высококачественного графена и других двумерных материалов.
PECVD оборудование для получения графена рулонным методом предназначено для непрерывного производства гибких прозрачных электродов.
| RF ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ: | |
| Выходная мощность: | 50~1000 Вт с плавной регулировкой ± 1% |
| Частота: | 13.56 МГц, стабильность ±0.005% |
| Мощность потребления: | 1000 Вт, 220 В |
| Уровень шума: | <55 дБ |
| Охлаждение: | Воздушное |
| СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗА: | |
| Кол-во каналов: | 3 |
| Напряжение: | 220 В, перем. ток, 50 Гц. |
| Мощность: | 23 Вт |
| Управление: | ПЛК сенсорным экраном |
| Размер смесительного бака: | Ø80х120 мм |
| Рабочая температура: | 5~45℃ |
| Макс. давление: | 3x106 Па |
| Точность: | ±1.5% полной шкалы |
| Линейная точность: | ±(0.5–1.5)% полной шкалы |
| Повторяемость: | ±0.2% полной шкалы |
| Канал 1: | 1~50 sccm (калибровка по метану), доступны другие варианты калибровки по типу газа |
| Канал 2: | 1~200 sccm (калибровка по водороду), доступны другие варианты калибровки по типу газа |
| Канал 3: | 1~200 sccm (калибровка аргоном), доступны другие варианты калибровки по типу газа |
| ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА: | |
| Модель: | PCG-800 |
| Диапазон индикации: | от 3.8E-5 до 1125 торр |
| Точность: | 5×10-4 … 1×10-3 мбар (N2) % от показания ±50; 1×10-3…100 мбар (N2) % от показания ±15; 100…950 мбар % от показания ±5; 950…1050 мбар % от показания ±2.5 |
| Система низкого вакуума: | Состоит из механического насоса двойного вращения, двухслойного вертикального фильтра масляного тумана (полиэтилен), вакуумметра сопротивления и соединительной трубы |
| Скорость откачки вакуумного насоса: | ≥4.4 л/с |
| Предельный уровень вакуума: | 10-1Па |
| Диапазон измерения вакуумметра: | 10^-1 Па~10^5 Па |
| ГЕРМЕТИЗИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ПОДАЧИ МЕДНОЙ ФОЛЬГИ С РУЛОНА НА РУЛОН: | |
| Механизм намотки/размотки: | Механизм намотки и размотки расположен в вакуумной камере на обоих концах трубчатой печи, для обеспечения перемещения медной фольги в герметичных условиях. Между намоточным механизмом и трубчатой печью установлено охлаждающее устройство для быстрого охлаждения медной фольги. |
| Скорость перемещения медной фольги: | 1-400 мм/мин (регулируется) |
| Размеры установки: | Около 2400*800*1250 мм |
| Вес: | Около 720 кг |
| Гарантия: | 1 год ограниченной гарантии |