<
>
Лабораторная PECVD мини-печь с RF генератором и системой подачи газа - O1200-50IS-PECVD
Производитель:
LabFurnace
Страна:
Китай
Артикул:
O1200-50IS-PECVD
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
O1200-50IS-PECVD — СЕ сертифицированная одна-зонная трубчатая печь, с кварцевой трубкой диаметром 50 мм, механическим вакуумным насосом, четырехканальной системой подачи газа и RF генератором 13/56 МГц. Установка может достигать макс. вакуума до 10-2 торр и смешивать 1-4 типа газов для CVD процессов или диффузии. Данное оборудование получила широкое применение для изготовления тонких пленок в лабораторных словиях.
| Частота RF генератора: | 13.56 МГц ±0.005% |
| Диапазон выходной мощности: | 5~300 Вт, с регулировкой 1% |
| Выходной RF порт: | 50 Ом, тип N, розетка |
| Уровень шума: | ≤55 дБ |
| Охлаждение: | Воздушное охлаждение |
| Материал трубки: | Кварц высокой чистоты |
| Внешний диаметр трубки: | 50 мм. |
| Длина трубки: | 1000 мм |
| Длина камеры печи: | 440 мм |
| Длина зоны нагрева: | 200 мм |
| Длина постоянной зоны нагрева: | 80 мм |
| Предельная скорость нагрева: | 1200℃ |
| Рабочая температура: | 0～1100℃ |
| Скорость нагрева: | 0-10℃/мин |
| Точность контроля температуры: | ±1℃ |
| Нагревательный элемент: | Сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo |
| Режим контроля температуры: | 30-сегментный программный контроль температуры |
| Режим управления: | ЖК-дисплеем |
| Метод уплотнения: | Вакуумные фланцы из нержавеющей стали 304 |
| Вакуумный насос: | Механический ротационный вакуумный насос с предельным уровнем вакуума 10-2 Торр. Опционально - турбомолекулярный насос с ротационным вакуумным насосом могут достичь уровень вакуума 10-5 Торр. |
| Соединительная трубка: | Сильфон из нержавеющей стали, ручной лепестковый клапан |
| Кол-во каналов для смешивания газов: | 4 |
| Канал 1: | 0～100 sccm |
| Канал 2: | 0～200 sccm |
| Канал 3: | 0～200 sccm |
| Канал 4: | 0～500 sccm |
| Точность: | ±2% полной шкалы |
| Точность повторяемости: | ±0.2% полной шкалы |
| Линейная точность: | ±1% полной шкалы |
| Разница рабочего давления: | -0.1 МПа ~ 0.15 МПа |
| Источник питания: | 220 В, перем. тока, 50 Гц |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |