Компактная двойная трубчатая CVD печь с функцией скольжения
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
O1200-50SDM - небольшая компактная трубчатая печь с двумя отдельными камерами нагрева, функцией скольжение и кварцевой трубкой Ø50×1400 мм с уплотнительными фланцами из нержавеющей стали. Макс. температура нагрева может достигать на пике до 1200℃.
Два корпуса печи могут скользить по направляющим для достижения испарения/сублимации сырья и осаждения пленки. Для достижения максимально быстрого нагрева печь можно предварительно разогреть до заданной температуры и переместить ее к положению образца, при этом для наиболее быстрого охлаждения печь после нагрева можно переместить на другой конец установки.
В то же время для построения TCVD системы можно использовать электрические направляющие, систему подачи газа, управляемую измерителем массового расхода (MFC), и RF источник плазмы.
| ТРУБЧАТАЯ ПЕЧЬ: | |
| Материал трубки: | Кварц высокой чистоты |
| Диаметр трубки: | 50 мм (опционально 60 мм, 80 мм, 100 мм) |
| Длина трубки: | 1400 мм |
| Длина камеры печи: | 300 мм |
| Длина зоны нагрева: | 200 мм |
| Рабочая температура: | 0～1100℃ |
| Точность контроля температуры: | ±1℃ |
| Режим контроля температуры: | 30 или 50-сегментный программный контроль температуры |
| Управление: | Цифровой дисплей |
| Метод герметизации: | Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
| Фланцевый порт: | Разъем с наконечником 1/4", соединение KF16/25/40 |
| Предельный уровень вакуума: | 4.4Е-3Па |
| Электропотребление: | 220 В 50/60 Гц |
| СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗА: | |
| Кол-во Каналов: | 3 |
| Измерительный блок: | Массовый расходомер газа |
| Канал А: | 0～100 sccm газ H2 |
| Канал B: | 0～300 sccm газ N2 |
| Канал C: | 0～500 sccm газ Ar |
| Точность измерения: | ±1.0% полной шкалы |
| Сопротивление давления трубки: | 3 МПа |
| Разница рабочего давления: | 50～300 кПа |
| Материал соединительной трубки: | Нержавеющая сталь 304 |
| Газовый канал: | Игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
| Порт подачи/выхода газа: | Разъем с наконечником 1/4" |
| СИСТЕМА ОТКАЧКИ: | |
| Механический насос: | Роторно-лопастной насос |
| Скорость откачки: | 1.1 л/с |
| Интерфейс откачки: | KF16 |
| Измерение вакуума: | Манометр сопротивления |
| Предельный вакуум: | 1.0Е-1Па |
| Электропотребление: | 220 В, перем. ток, 50/60 Гц |
| Интерфейс накачки: | KF16 |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |