<
>
Система химического газофазного осаждения (CVD) с двумя температурными зонами
Производитель:
LabFurnace
Страна:
Китай
Артикул:
OTF-1100X-II-CVD05
- Стоимость
-
По запросу
- Под заказ
CVD (химическое газофазное осаждение) — широко используемый метод для осаждения тонких пленок, заключающийся в реакции газофазных реагентов с поверхностью подложки при высоких температурах с образованием тонкой пленки.
Системы газофазного осаждения (CVD) широко используются как материаловедении, так и и для изготовления различных функциональных тонких пленок, включая металлические, оксидные, нитридные и прочие пленки, и также углеродные нанотрубки и т.д. Данное оборудование получило широкое применение в полупроводниковой отрасли, оптоэлектронике, энергетике, биомедицине и т.д.
| RF ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ: | |
| Частота: | 13.56 МГц ±0.005% |
| Диапазон выходной мощности: | 0~300 Вт |
| Макс. отраженная мощность: | 100 Вт |
| Отраженная мощность (при макс. мощности): | <3 Вт |
| Стабильность мощности: | ±0.1% |
| ТРУБЧАТАЯ ПЕЧЬ: | |
| Материал трубки: | Кварц высокой чистоты |
| Внешний диаметр трубки: | 100 мм. |
| Длина трубки: | 1200 мм |
| Длина камеры печи: | 440 мм |
| Длина зоны нагрева: | 200 мм+200 мм (две температурные зоны) |
| Длина зоны постоянной температуры: | 200 мм |
| Непрерывная рабочая температура: | Макс. 1100℃. |
| Точность контроля температуры: | ±1℃ |
| Режим контроля температуры: | 30-сегментный программный контроль температуры |
| Режим управления: | ЖК-дисплеем |
| Метод уплотнения: | Вакуумные фланцы из нержавеющей стали 304 |
| СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗА: | |
| Измерительный блок: | Регулятор массового расхода |
| Кол-во каналов: | 5, кол-во каналов (до 9) и их диапазоны могут быть подобраны индивидуально по требованию заказчика |
| Канал A: | 0～200 sccm для H2 |
| Канал B: | 0～200 sccm для CH4 |
| Канал C: | 0～500 sccm для N2 |
| Канал D: | 0～500 sccm для NH3 |
| Канал E: | 0～500 sccm для Ar |
| Точность измерения: | ±1.5% полной шкалы |
| Разница рабочего давления: | -0.15 МПа ~ 0.15 МПа |
| Материал соединительной трубки: | Нержавеющая сталь 304 |
| Газовый канал: | Игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
| Соединительный порт: | Разъем с наконечником 1/4" для подачи и выхода газа |
| ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА: | |
| Вакуумный насос: | Механический двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
| Скорость откачки: | 1.1 л/с |
| Измерение вакуума: | Манометр сопротивления |
| Предельный уровень вакуума: | 1.0E-1Па |
| Порт подключения насоса: | KF16 |
| Направляющая скольжения: | Для обеспечения быстрого подъема и падения температуры, печь может быть оснащена функций скольжения |
| Источник питания: | 220 В, перем. тока, 50 Гц |
| Гарантия: | Один год ограниченной гарантии |