изображение Вертикальная вакуумная печь с автоматической загрузкой VBF-1200X-E8
Новинка
Производитель: 
MTI corp.
Страна: 
США
Артикул: 
VBF-1200X-E8
Стоимость: 
по запросу
Под заказ

 VBF-1200X-E8 - вертикальная вакуумная печь с кварцевой камерой размерами ø190 х340 мм и с механизмом автоматической загрузки образцов. Механический или молекулярный насос позволяет достичь вакуума вплоть до 10^-5 торр. Вакуумная печь предназначена для отжига полупроводниковых пластин (до ø150 мм) в вакууме или в среде различных газов с температурой до 1100 С. 

Конструкция печи

  • Корпус из двойного слоя стали с воздушным охлаждением поддерживает температуру поверхности печи ниже 60 ° С
  • Алюминиевая огнеупорная изоляция 
  • Водяное охлаждение для длительного срока службы
  • Автоматическая загрузка образцов


Электропитание

  • 220 В, 50 Гц, 3500 Вт


Температура и нагревательный элемент

  • Рабочая температура - 1000 ° С
  • Максимальная температура 1100 °С (не ьолее 30 минут)
  • Точность поддержания температуры +/- 2 °С
  • Нагревательный элемент из сплава NiCrAl

Кварцевая труба и зона нагрева

  • Габариты трубы - 200 мм (наружн. диам.) х 190 мм  (внутр. диам) х 340 мм
  • Зона нагрева - 190 мм х 216 мм
  • Кварцевая труба легкозаменима

Вакуумный фланец

  • Фланец выполнен из нержавеющей стали с силиконовыми уплотнительными кольцами
  • Двигатель с дистанционным управлением для открытия и закрытия фланца
  • Порт KF25D для подключения вакуумного насоса
  • Охлаждение внутри фланца
  • Вакуумный насос, фланец, клапан, вакууметр и сильфон включены в поставку


Температурный контроллер

  • 30 программируемых сегментов для точного нагрева, охлаждения и поддержания температуры с точностью +/- 1 °С
  • Встроенный ПИД регулятор
  • Защита от перегрева с сигнализацией

Габариты - 700 мм х 650 мм х 1400 мм (ДхШхВ)
Вес - 160 кг
Гарантия - 1 год