- Производитель:
- MTI corp.
- Страна:
- США
- Артикул:
- VBF-1200X-E8
- Стоимость:
- по запросу
VBF-1200X-E8 - вертикальная вакуумная печь с кварцевой камерой размерами ø190 х340 мм и с механизмом автоматической загрузки образцов. Механический или молекулярный насос позволяет достичь вакуума вплоть до 10^-5 торр. Вакуумная печь предназначена для отжига полупроводниковых пластин (до ø150 мм) в вакууме или в среде различных газов с температурой до 1100 С.
Конструкция печи
- Корпус из двойного слоя стали с воздушным охлаждением поддерживает температуру поверхности печи ниже 60 ° С
- Алюминиевая огнеупорная изоляция
- Водяное охлаждение для длительного срока службы
- Автоматическая загрузка образцов
Электропитание
- 220 В, 50 Гц, 3500 Вт
Температура и нагревательный элемент
- Рабочая температура - 1000 ° С
- Максимальная температура 1100 °С (не ьолее 30 минут)
- Точность поддержания температуры +/- 2 °С
- Нагревательный элемент из сплава NiCrAl
Кварцевая труба и зона нагрева
- Габариты трубы - 200 мм (наружн. диам.) х 190 мм (внутр. диам) х 340 мм
- Зона нагрева - 190 мм х 216 мм
- Кварцевая труба легкозаменима
Вакуумный фланец
- Фланец выполнен из нержавеющей стали с силиконовыми уплотнительными кольцами
- Двигатель с дистанционным управлением для открытия и закрытия фланца
- Порт KF25D для подключения вакуумного насоса
- Охлаждение внутри фланца
- Вакуумный насос, фланец, клапан, вакууметр и сильфон включены в поставку
Температурный контроллер
- 30 программируемых сегментов для точного нагрева, охлаждения и поддержания температуры с точностью +/- 1 °С
- Встроенный ПИД регулятор
- Защита от перегрева с сигнализацией
Габариты - 700 мм х 650 мм х 1400 мм (ДхШхВ)
Вес - 160 кг
Гарантия - 1 год