Система осаждения органических и металлических тонких пленок Super-Spectros 200

изображение Система осаждения органических и металлических тонких пленок Super-Spectros 200
Лучшее
Производитель: 
Kurt J. Lesker
Страна: 
США
Артикул: 
Super-Spectros 200
Стоимость: 
по запросу
Super-Spectros 200 – установка для осаждения органических и металлических тонких пленок на подложки габаритами до 200х200 мм
    
Особенности: 
Установка используется для напыления органических и металлических  материалов в лаборатории
Установка имеет удобный доступ к рабочей области камеры для загрузки-выгрузки подложек
До двенадцати источников для напыления органических пленок, объемом 1 см3,10 см3 или 35 см3
До четырех источников для термического испарения
Электронная пушка с несколькими источниками для электронно-лучевого напыления
Спиральный и криогенный вакуумный насос для достижения вакуума до 10-7 торр
Габариты подложек: до 200х200 мм
Конфигурация: Система нагрева подложек до 350°С, система охлаждения до -10°С, плазменная отчистка, перчаточный бокс (опционально)
 
Применение: 
Осаждение органических полупроводников
Осаждение материалов катода
Органические пленки
Фотоэлектрические пленки
OLED-пленки
Тонкопленочные батареи
МЭМС
Рабочая камера
Материал: Нержавеющая сталь 304
Габариты (ШхДхВ): 610х610х1020 мм
 
Криогенный насос Brooks 1500 л/с с безмасляным спиральным насосом 
Предельный вакуум 8*10-8 мбар
 
Равномерность осаждения ≤3% на подложку Si диаметром 10’’ или на подложку 200х200 мм  (для алюминиевых пленок толщиной свыше 200 нм)
Стол для подложек диаметром до 150мм или размерами 150х150 со скоростью вращения 20 об/м
Контроль толщины пленки: Толщина пленки и скорость осаждения контролируется с помощью программного обеспечения установки
Электропитание: 400 В, 3 фазы 32 А, 50 Гц